民生用LSIへの搭載を想定した低コストの1回書き込み型メモリ・コアを開発 ――オンチップOTPROM、セキュリティ、アナログ・トリミングなどに利用可能

Charles Ng

tag: 組み込み

技術解説 2005年12月28日

 XPMセルは,一見するとFPGAに使われているアンチヒューズ(通常は絶縁状態にあり,プログラム電圧を加えることにより接続状態に変わるヒューズ)のようですが,実際には従来型のアンチヒューズとは構造が異なります(稿末のコラム「FPGA/PLDとXPM技術の接点」を参照).アンチヒューズは通常,二つの金属層間に配置された特殊な誘電体(アモルファス・シリコンの場合もある)で構成されています.プログラムすると,アンチヒューズは接続(スイッチ)を閉じます(ヒューズのように開くのではない).

 XPMもプログラムの後で接続を閉じるという点ではアンチヒューズ技術とよく似ています.しかし,現行のアンチヒューズ技術と異なり,XPMセルの接続は,金属層の間ではなくCMOSトランジスタのゲート酸化膜において行われます.XPMセルは基本的に標準のCMOSトランジスタで構成されているため,CMOS論理LSIと同じプロセス技術で製造できます.

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