マイクロ波帯のMEMS応用技術の動向　――RF MEMSは課題を克服し，無線機器の性能向上に貢献できるか？

2　アンテナ・伝送線路の製作

　バルク・マイクロマシーニング技術 ^注2により，マイクロ波帯の各種の回路が製作されています．ここで，基本となる製造技術は，異方性エッチング，薄膜形成，金属メッキ技術です．

1）アンテナ

　図6に，MEMS技術を高周波帯へ応用した例として，90GHz帯のイメージング・アレイ^2）を示します．イメージング・アレイはミリ波帯のカメラであり，最近ミリ波帯の技術として注目されています．このアレイの個々のホーン・アンテナは，Siの異方性エッチングを利用して製作されています．ホーンの開口角である70.6度は，結晶の方位
によって決まっています．

　図7に，指向性可変のアンテナを示します．このアンテナの基本構造はVeeアンテナです．Veeアンテナは，その名まえのとおりV型をしたアンテナであり，MEMS技術を用いた調整機構が組み込まれており，アンテナの指向性を機械的に変化させることができます．17GHz帯で実験が行われ，アンテナのメイン・ビームの方向およびビーム幅を変えることに成功しています^3）．

 注2；単結晶Si基板そのものに微細な構造体を形成する技術．

〔図6〕 ホーン・アンテナ・アレイ Si（110）の異方性エッチングを利用したイメージング・アレイで，検出器も内部に組み込まれている．ホーンの開口角である70.6度は結晶の方位で決まっている^3）．

〔図7〕アンテナ・パターン可変のVeeアンテナ
アンテナ部が可動であるため，アンテナ・ビームの方向や幅を変えることができる^3）．