マイクロ波帯のMEMS応用技術の動向 ――RF MEMSは課題を克服し,無線機器の性能向上に貢献できるか?
2 アンテナ・伝送線路の製作
バルク・マイクロマシーニング技術 注2により,マイクロ波帯の各種の回路が製作されています.ここで,基本となる製造技術は,異方性エッチング,薄膜形成,金属メッキ技術です.
1)アンテナ
図6に,MEMS技術を高周波帯へ応用した例として,90GHz帯のイメージング・アレイ2)を示します.イメージング・アレイはミリ波帯のカメラであり,最近ミリ波帯の技術として注目されています.このアレイの個々のホーン・アンテナは,Siの異方性エッチングを利用して製作されています.ホーンの開口角である70.6度は,結晶の方位
によって決まっています.
図7に,指向性可変のアンテナを示します.このアンテナの基本構造はVeeアンテナです.Veeアンテナは,その名まえのとおりV型をしたアンテナであり,MEMS技術を用いた調整機構が組み込まれており,アンテナの指向性を機械的に変化させることができます.17GHz帯で実験が行われ,アンテナのメイン・ビームの方向およびビーム幅を変えることに成功しています3).
注2;単結晶Si基板そのものに微細な構造体を形成する技術.