マイクロ波帯のMEMS応用技術の動向 ――RF MEMSは課題を克服し，無線機器の性能向上に貢献できるか？
2）エア・ブリッジ型薄膜スイッチ
伝送線路の途中に挿入されたエア・ブリッジのドラムヘッド（あるいはボウタイ）型金属薄膜もスイッチとして使用されており，この場合のON/OFF動作には静電力を利用します（図3）．これまでに，動作電圧が数十Vでスイッチング速度が10μsのスイッチが製作されています12）．
〔図3〕容量性 MEMS スイッチ
下部電極は，誘電体で覆われている．上部電極は金属薄膜で作られており，下部電極に印加された電圧により変形する．これによって下部電極との間の容量が変化し，高周波がON/OFFされる．
