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水野皓司
tag: 半導体 実装
技術解説 2002年10月29日
図10は,短ミリ波,サブミリ波用の導波管可変短絡板(バックショート)をMEMS技術によって製作した例です17).この製作には,10:1以上のアスペクト比の加工が可能な感光性レジンを用いています.
〔図10〕 矩形導波管挿入用バックショート 感光性レジンでプランジャ形状を構成し,全体を金メッキ加工する.このレジンを使って数100μm厚でアスペクト比10:1程度の構造を製作できる.短ミリ波,サブミリ波帯回路素子の大きさに適した材料である17).
tag: MEMS, 高周波
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