マイクロ波帯のMEMS応用技術の動向　――RF MEMSは課題を克服し，無線機器の性能向上に貢献できるか？

水野皓司

技術解説 2002年10月29日

　図10は，短ミリ波，サブミリ波用の導波管可変短絡板（バックショート）をMEMS技術によって製作した例です^17）．この製作には，10：1以上のアスペクト比の加工が可能な感光性レジンを用いています．

〔図10〕矩形導波管挿入用バックショート感光性レジンでプランジャ形状を構成し，全体を金メッキ加工する．このレジンを使って数100μ
m厚でアスペクト比10：1程度の構造を製作できる．短ミリ波，サブミリ波帯回路素子の大きさに適した材料である^17）．

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