システム・イン・パッケージに組み込まれるMEMS慣性デバイス ──小型,高精度を生かすMEMSデバイスのキラー・アプリ
ここでは,サーフェイス・マイクロマシーニング技術を用いたMEMSセンサの開発工程と,そのセンサを利用したアプリケーションを紹介する.現在,MEMSセンサの応用例としては自動車のエア・バッグにおける衝突の検知などが広く知られているが,携帯機器やゲーム・パッド,ハード・ディスク装置にも搭載されつつあるという. (編集部)
近年のアナログ技術の中でもっとも刺激的な最先端技術の一つに,MEMS(micro electro mechanical systems)という分野があります.MEMSは,マイクロエレクトロニクス技術の40年の歴史の中で開発されてきた製造技術をSi(シリコン)マイクロマシンに応用したもので,電気的要素と機械的要素を組み合わせた新しい技術を生み出しています.