MEMSや赤外線，画像センサ技術を応用した計測機器に注目 ―― Sensor Expo Japan 2010レポート

●顔の表情をコンピュータ・データとして取得

　クレアクト・インターナショナルは，顔の動きをトラッキングできるソフトウェア・モジュール「faceAPI」（開発元はオーストラリアのSeeing Machines社）のデモンストレーションを行った（写真5）．単に顔の動きをトラッキングするだけでなく，まゆ毛や目，唇の動きをリアルタイムに検知し，データとして出力できる．すなわち，顔の表情などをコンピュータ・データとして取得できるという．

写真5　クレアクト・インターナショナルによる「faceAPI」のデモンストレーション

　動作環境として，Windows XP/Vistaが搭載されたパソコンとWebカメラが必要．抽出した顔の特徴データは，ランドマークや3次元アバタなどの基本データとして利用できる．

●温度異常を画像で監視する熱画像センサを展示

　アーズは，2,000画素の赤外線検出素子を搭載した設置型熱画像センサ「TP-Lシリーズ」（開発元はグループ企業のチノー）を展示した（写真6）．エリア内発熱検知などの監視用途，温度データを活用する計装用途，システム・各種装置への組み込み用途などに利用できる．

写真6　チノーが開発した「TP-Lシリーズ」

　測定視野角は，対象物に合わせて25°と60°の2種類から選択できる．センサ本体に警報接点出力を2点装備しており，EthernetインターフェースとUSBインターフェースを備えている．測定可能な温度範囲は，100℃～800℃．鉄鋼，金属，工業炉，焼却炉などの高温の設備監視にも利用できるという．

●MEMSマイクロセンサ，アンプ，A-Dコンバータを1チップに集積

　センシリオンは，同社独自のCMOSens技術を用いて実現したガス流量コントローラ「SFC3000/4000」を展示した（写真7）．CMOSensとは，MEMS技術によって実現した高精細なカロリ・メトリック・マイクロセンサ素子とアンプ，A-Dコンバータを単一のCMOSチップ上に集積する技術である．

写真7　センシリオンの「SFC3000/4000」

　SFC3000が制御できる最大流量は200sccm，SFC4000は20000sccm．センサ信号はディジタル回路によって温度補正され，PWM信号に変換された後，バルブを制御するアナログ制御回路に送られる．これにより，高精度，設定時間の短縮，広いダイナミック・レンジなどを実現できたという．

きたむら・としゆき