マイクロマシンから介護ロボットまで，幅広いスケールでロボット技術を紹介 ―― 第21回マイクロマシン/MEMS展，ROBOTECH

●3D露光に対応した卓上型パターン・ジェネレータを展示

　日本レーザーは，ドイツのHeidelberg Instruments Mikrotechnik社が開発した卓上型のパターン・ジェネレータ「μPG 101」を展示した（写真5）．レーザ直接描画による少量のマスク作成などに適用できる．

写真5　日本レーザーが展示した「μPG 101」

　本パターン・ジェネレータは3D露光モードを搭載しており，1回の露光で厚膜レジスト中に複雑な3次元構造を形成できる．最小描画サイズは3μm，最大描画エリアは100mm×100mm．標準仕様のシステムでは波長が405nmの半導体レーザを搭載しているので，リソグラフィ加工で用いられる標準的なフォトレジストの露光に利用できる．描画方式はラスタ・スキャンとベクトル・スキャンに対応する．

　基板上の位置計測やアライメントを行う際には，オプションのアライメント・システムを利用する．基板上のパターンに対して自動アラインメントを実行できる．

●ライン・トレース・カーの学習教材を展示

　ロボット製造技術についての展示会である「ROBOTECH」の会場では，ヴイストンがライン・トレース・カーを使った学習教材「Beauto Racer」を展示していた（写真6）．フロー・チャートやアルゴリズムなど，プログラミングの基本的な考え方を学ぶことができる．中学校の技術分野の履修項目である「プログラムによる計測・制御とエネルギーの変換と利用」に対応する．

　マイコン，左右の車輪となる2個のモータ，動作確認用の2個のLED，地面の白黒を検知する2個の赤外線センサを搭載する．「Beauto Builder R」という開発環境を用い，動作や命令のブロックを繋げることで，プログラムを作成できる．プログラミングの上級者向けに，「メモリ・マップの表示」，「変数などを使用した演算命令」，「モータの出力を任意に設定できる移動命令」などの画面も用意されている．ドライバ・ソフトウェア類のインストールは不要．ライン・トレース・カーの先端をパソコンのUSBポートに挿すだけで，プログラムの書き込みを行える．

写真6　ヴイストンの「Beauto Racer」

●ホーム介護ロボットが介護者の力仕事を援助

　日本ロジックマシンは，要介護者をベッドから車いす，簡易トイレ，簡易浴槽などへ移動させることができる介護ロボット「百合菜（YURINA）」を展示した（写真7）．体重が80㎏までの人を持ち上げることが可能．畳の上でも使用できる．ハンド部を交換することで，介護以外の作業にも対応できる．

　音声認識装置が搭載されており，音声による動作指示が行える．方言での音声登録も可能．音声による動作指示の場合，介護者の指示をロボットが確認（復誦）した上で動作を行うようになっている．細かな動きや小さな動作などは，リモコンを使って指示できる．

　介護作業の際に胴体が旋回するため，ベッドとベッドの間でもスムーズに動作するという．またアームが床まで伸びるため，床に横たわった人を乗せることも可能．移乗作業を効率良く行うため，抱き上げハンドには傾斜機能と引き込み機能を装備している．

(a) 表示画面側


(b) ハンド部がベッドを持ち上げたところ
写真7　日本ロジックマシンの「百合菜（YURINA）」

きたむら・としゆき