さまざまな光計測システムが一堂に,材料表面を撮影する非接触3Dスキャナの展示も ―― InterOpto 2012

北村 俊之

tag: 半導体 実装

レポート 2012年10月 4日

●奥行きを撮影できる手のひらサイズのカメラを展示

 ブレインビジョンは,手のひらサイズの距離画像カメラ「BV-TOF」を展示した(写真5).距離画像カメラとは,画像解析により対象までの距離(奥行き)を計測するカメラである.本カメラは0.1m~2m程度の近距離測定を想定しており,3次元カラー撮影が可能.距離の計測にはTOF(Time of Flight)方式注1を採用している.

注1:TOF(Time of Flight)方式とは,レーザ光を投射し,往復するのにかかる時間から距離を計測する方式である.

 

写真5 ブレインビジョンの「BV-TOF」

 

 

 外形寸法は50mm×60mm×50mm,重さは180gで,狭いスペースにも設置できる.パソコンに接続しなくても単体で動作可能.距離センサとして装置に組み込むこともできる.複数台のカメラが干渉しないように同期制御するコントロール・ユニットをオプションで提供している.有効画素数は128ピクセル×120ピクセル,フレーム・レートは8~60フレーム/s,画角は60度.照明光には近赤外LEDを利用している.データの受け渡しは,USB 2.0インターフェースで行う.

 専用のSDK(ソフトウェア開発キット)を提供する.対応OSはWindows XP以降で,ソフトウェア開発にはVisual C++ .NET2003以降を利用する.

 

●分光放射照度計から測定データを直接Excelに取り込む

 コニカミノルタオプティクスは,分光放射照度計「CL-500A」を展示した(写真6).本照度計は,光の演色評価数,相関色温度,色度,照度(JIS一般形AA級),三刺激値,主波長刺激純度,ピーク波長,分光放射照度値(360nm~780nm,1nmピッチ:外部出力のみ)を測定できる.JIS C 1609-1:2006 一般形AA級照度計,DIN 5032 Part 7 class Bの規格に準拠している.

 

写真6 コニカミノルタオプティクスの「CL-500A」

 

 

 Excelのアドイン・ソフトウェアとして作られたデータ処理ソフトウェア「CL-S10w」を使用することで,測定データを直接Excelに取り込んで処理できる.パソコンが利用できない環境でも,本体だけで演色評価数や色温度を求めることが可能.分光放射照度の波形やピーク波長も確認できる.外形寸法は70mm×165mm×83mm,重さは350g.パソコンとの接続は,付属のUSBケーブルにて行う.

 

●高精度波面センサ・システムにステッピング・モータを追加

 JFE商事エレクトロニクスは,イタリアSpot-optics社の波面センサ・システム「Lentino+」を展示した(写真7).本センサは,小口径レンズ(~φ25mm)の透過波面センサ・システム「Lentino」に,エンコーダ付きステッピング・モータ(最小移動距離は100nm)を追加した機種である.ステージの移動距離を小さくしたことにより,焦点深度の浅い高倍率レンズでも高精度で測定できるという.

 

写真7 イタリアSpot-optics社の「Lentino+」

 

 

●コノスコピック・ホログラフィ方式を採用した非接触高解像度3Dスキャナ

 オフィールジャパンは,イスラエル Optical Metrology社の非接触3Dスキャニング装置「コノスキャン4000」を展示した(写真8).Optical Metrology社が特許を取得しているコノスピック・ホログラフィ方式を採用しており,高精度の測定が可能.交換レンズとして25mm~100mmの対物レンズなどが用意されている.光沢のある金属類やプラスチック,ゴムなどの樹脂類,電子基板,接着剤などをスキャンできる.

 

写真8 オフィールジャパンの「コノスキャン4000」

 

 

きたむら・としゆき

 

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