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2003年11月12日〜14日，科学技術館（東京都千代田区）において，マイクロマシン（微小機械）およびナノテクノロジに関する展示会「第14回 マイクロマシン展」が開催された．来場者の累計は8,793名．
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日機装のブースで展示されていた「体内埋め込み型インスリン注入システム」．2000年6月〜2003年3月に新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の研究プロジェクトとして，テルモ，松下電工とともに開発した．
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日機装の体内埋め込み型インスリン注入システムには，同社が開発した0.5μl（マイクロリットル）〜20.0μlの流量の「マイクロポンプ」が組み込まれている．マイクロポンプの外形寸法は，6.0mm×9.5mm×1.5mm．このポンプによって，インスリンや抗ガン剤などの薬液，アルコールなどを連続的に体内に注入することができる．
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日機装の「マイクロミキサー」のウェハ．同社の「マイクロポンプ（写真の中央の丸い部分）」を利用して，2種類の液体を混ぜる．
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日機装の「マイクロミキサー」のデモンストレーション．左側から異なる種類の液体を本ミキサに入れ，右側からはそれらを混合した液体が出ている．
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日機装の針型の血糖値センサ．注射針の表面に電極を構成した．
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山武の「オイルフリー圧力センサ」のパッケージング例．工業用のSi圧力センサは，流体による腐敗を防ぐため，通常センサ素子の周りをオイル覆ってパッケージングされる．このため，外形寸法が大きくなる．また，オイル漏れなどの危険もある．そこで，同社はアルカリや酸に対して高い耐食性を持つサファイアをセンサ素子の材料として採用した．本センサ素子はパッケージングの際にオイルを必要としないため，装置を小型化できる．
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山武の「オイルフリー圧力センサ」．静電容量を用いて圧力を検出する．ピエゾ抵抗式の圧力センサでは耐熱が125℃程度だが，本センサは250℃でも出力が安定しているという．
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山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」．
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山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」．本センサの素子安定性はフル・スケールで±0.01％．また，本センサはパッケージングにおいて特許を取得している．センサとパッケージは異種材料で作られており，温度の変化によって接合部分がひずみ（パッケージに応力がかかり），センサの出力に影響を与える．同社の特許では，接合部分の形状をくふうすることによって，温度変化によるひずみを相殺する．
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山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」のゼロ点の温度特性．特許を取得したパッケージング技術を用いると，125℃近辺でもゼロ点が安定している．1年5ヵ月安定性が保証されるという．
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山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」を組み込んだ高精度質量流量計「AlRcube」．上流と下流の圧力差を測り，流量を割り出す．工場の圧縮空気の量の管理に使用される．
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