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第14回 マイクロマシン展
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11/21
山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」のゼロ点の温度特性．特許を取得したパッケージング技術を用いると，125℃近辺でもゼロ点が安定している．1年5ヵ月安定性が保証されるという．
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