組み込みネット第14回マイクロマシン展

山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」．本センサの素子安定性はフル・スケールで±0.01％．また，本センサはパッケージングにおいて特許を取得している．センサとパッケージは異種材料で作られており，温度の変化によって接合部分がひずみ（パッケージに応力がかかり），センサの出力に影響を与える．同社の特許では，接合部分の形状をくふうすることによって，温度変化によるひずみを相殺する．