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第14回 マイクロマシン展

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512x384 18K 山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」を組み込んだ圧力発信器「Bravo light」.
512x384 32K アーズの無線通信モジュール「Ni2」.本モジュールはMEMSセンサから取得したデータの信号処理や無線制御を行う.MEMSセンサは外付け.双方向通信が可能.無線通信の周波数帯は303.825MHzを使用している.2.4GHz帯については現在,試作中.データ伝達可能距離は15m.外形寸法は38mm×67mm.すでに研究用として大学や研究機関などに提供している.波形エディタなどのソフトウェアも提供する.
512x384 28K アーズの「ネイチャーインターフェイサ」.圧電センサからのデータをアナログのFM波で送信する.
512x384 27K アーズの「信号センシングシステム」.Bluetoothモジュールを外付けできる.
512x384 26K オムロンの3軸加速度センサ.検出範囲は±3g.感度は0.1mV/g/V.現在,サンプル出荷を行っている.2004年春から量産を開始する予定.
512x384 30K オムロンの3軸加速度センサのデモンストレーション.
512x384 15K セイコーインスツルメンツの積層圧電振動子(参考出展).屈曲振動励振用と縦振動励振用の圧電素子で構成されている.
512x384 18K セイコーインスツルメンツのマイクロ超音波リニア・アクチュエータ.積層圧電振動子によって,縦振動と屈曲振動を同時に発生させる.すると,積層圧電振動子の下部にある突起物がだ円運動を始め,その下に置かれている被駆動体が摩擦運動を始める.
384x512 24K ルネサス東日本セミコンダクタのブース.日立製作所の子会社だったころからMEMSのファンドリ・サービスを行っていた.試作から量産まで(パッケージングも含む)を請け負う.
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