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第14回 マイクロマシン展
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12/21
山武の「ピエゾ抵抗式圧力センサ」を組み込んだ高精度質量流量計「AlRcube」．上流と下流の圧力差を測り，流量を割り出す．工場の圧縮空気の量の管理に使用される．
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