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第14回 マイクロマシン展
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山武の「オイルフリー圧力センサ」．静電容量を用いて圧力を検出する．ピエゾ抵抗式の圧力センサでは耐熱が125℃程度だが，本センサは250℃でも出力が安定しているという．
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