組み込みネット第14回マイクロマシン展

山武の「オイルフリー圧力センサ」のパッケージング例．工業用のSi圧力センサは，流体による腐敗を防ぐため，通常センサ素子の周りをオイル覆ってパッケージングされる．このため，外形寸法が大きくなる．また，オイル漏れなどの危険もある．そこで，同社はアルカリや酸に対して高い耐食性を持つサファイアをセンサ素子の材料として採用した．本センサ素子はパッケージングの際にオイルを必要としないため，装置を小型化できる．