オムロン，MEMSサーモパイル素子で赤外線を検出する非接触温度センサを発売

　オムロンは，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスによって赤外線を検出する非接触温度センサ・モジュール「形D6T」を発売する．温度検出範囲は5℃～50℃，温度出力誤差は±1.5℃，温度分解能は0.14℃．家屋やビル，工場などの温度監視に利用できる．焦電素子を使った人感センサと異なり，本センサ・モジュールは静止した人物も検出可能．

　対象物からの放射エネルギーを，MEMS技術で製作したサーモパイル素子（熱電対列）で受けて，温度を計測する．2種類の金属接点間の温度差に応じた熱起電力が発生するゼーベック効果を利用する．n型ポリシリコン，p型ポリシリコン，金属（Al）で熱電対を構成し，これを直列につないでサーモパイル素子とした．熱絶縁性の高い誘電体薄膜上に温接点を，熱伝導性の高いシリコン上に冷接点を形成することで，高速に応答し，エネルギー変換効率の高い温度センサを実現できたという．

　MEMSサーモパイル素子の構成は，4×4素子タイプと1×8素子タイプの2種類を用意する．これらの素子とセンサの周辺回路を集積したASICを一つのパッケージに封止した．電源電圧は4.5V～5.5V．4×4素子タイプのMEMSサーモパイル素子を搭載したモジュールの外形寸法は18mm×14mm×8.8mm，1×8素子タイプを搭載したモジュールは18mm×14mm×10.7mm．

　2012年6月30日に出荷を開始する．なお，同社は2012年7月11日～13日に東京ビッグサイト（東京都江東区）で開催される「第23回マイクロマシン/MEMS展」にて，本モジュールを展示する予定．

[写真1] 形D6T-44L-06（4×4素子を搭載）の外観