Freescale，3.0mm×5.0mm×1.0mmのMEMS加速度センサ・モジュールを発売

　米国Freescale Semiconductor社は，3軸のMEMS（micro electro mechanical systems）技術で製造する加速度センサと，センサの情報を電圧として出力するための制御ICを1パッケージに封止したマルチチップ・モジュール「MMA73x0Lシリーズ」を発売した．モジュールの外形寸法は3.0mm×5.0mm×1.0mmと小さい．感度が1.5gまたは6gの「MMA7360L」，3gまたは12gの「MMA7340L」，4gまたは16gの「MMA7330L」の3品種を用意する．1品種当たり2種類の感度を選択できる．

　加速度センサの方式は静電容量型．制御用ICは，C-V変換や信号増幅，温度補正などを行う．また，自由落下（0g）検出出力端子や自己テスト機能を持つ．MMA7360Lの1.5gモード，3.3V動作時の感度は800mV/g．

　耐衝撃性は5,000g，直線性は±1％FSOである．応答周波数帯域はX軸とY軸が400Hz，Z軸が300Hz．また，本モジュールの動作時の消費電流は最大600μA，待機時は最大10μAである．動作電圧は，2.2V～3.3V．動作温度範囲は－20～85℃．パッケージは14ピンLGA（land grid array）．

　本マルチチップ・モジュールの量産出荷は，2007年第2四半期から開始する予定．

[図1] MMA73x0Lシリーズの内部構造とピン配置

[写真1] MMA73x0Lシリーズの外観