Silicon Sensing Systems，ゼロ点温度変動が±2°/sと小さいMEMS角速度センサを発売

　英国Silicon Sensing Systems社は，MEMS（micro electro mechanical systems）角速度センサ（ジャイロ・センサ）「CRS10」を発売した．シリコンで形成したリングを使ってコリオリ力を検出するため，ほかの検出方式（例えば，ビーム型や音さ型，プレート型など）と比べて外来ノイズの影響を受けにくい．同社では，動作温度範囲が広いこと，およびゼロ点温度変動や感度温度変動が小さいことなどが求められる自動車や工業用製品に向くという．例えば，4WD車において，横滑りを本センサで検知し，横滑りを打ち消すようにタイヤの回転を制御するなどの用途に利用できる．

　また，民生用機器などに使われている比較的安価な角速度センサには，音さ型のセンサなどが用いられているが，角速度を検出する際に，外部振動や衝撃などの影響を受けることがある．本角速度センサの場合，こうした問題は起こらないという．

　出力はディジタル16ビットで，シリアル・バス（SPI）を使って出力される．感度は32LSB/（deg/s），感度温度変動は±2％，ゼロ点温度変動は±2°/s．また，測定範囲は±300°，非直線性は最大0.5％，多軸感度は最大1％，動作温度範囲は－40℃～＋125℃である．

　電源電圧は5V±0.25V．外形寸法は23mm×17mm×8mm．

[写真1] CRS10の外観