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Samsung,32GビットのNAND型フラッシュ・メモリを開発

 韓国Samsung Electronics社は,40nmのプロセスで製造する32GビットのNAND型フラッシュ・メモリを開発したと発表した.2008年から量産を開始する予定.

 このフラッシュ・メモリは,同社のCharge Trap Flash(CTF)技術を用いた最初の製品である.CTF技術では,タンタル,酸化アルミニウム,窒化物,酸化物,シリコンから構成されるTANOS(TaN/Al203/Nitride/Oxide/Silicon)構造を採用.この技術を用いると,セル間のノイズ・レベルが減少し,フラッシュ・メモリの信頼性が向上するという.

 同社では従来,東芝が開発したフローティング・ゲート技術を用いていた.フローティング・ゲート技術では,制御ゲートにポリシリコンを採用しているが,CTF技術では窒化タンタルを使用している.そのため,フローティング・ゲート技術を用いた場合に比べて,サイズが20%ほど小さくなるという.

■連絡先
Samsung Electronics社
URL: http://www.samsung.com/

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