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沖電気,10ビットA-Dコンバータを内蔵した5.0mm×5.0mm×1.4mmのMEMS加速度センサ・モジュールを発売
ニュース 2004年8月23日
沖電気工業は,3軸のMEMS加速度センサと制御用ICを1パッケージに集積したマルチチップ・モジュール「ML8950」を発売する.本モジュールの外形寸法は5.0mm×5.0mmであり,厚さは1.4mmと薄い.携帯機器やセキュリティ端末などにおける需要を見込んでいる.同社は,MEMSファンドリ・サービスを提供しているが,自社製品を発売するのは今回が初めて.
制御用ICは,10ビットA-Dコンバータを内蔵しており,加速度センサで取得した信号をディジタル値として出力する.そのため,CPUなどと直接接続できる.このほか,信号増幅回路や温度補正回路なども備えている.
加速度センサはピエゾ抵抗型.測定範囲は±3G,耐衝撃性は4,000G,直線性は±1%FS(full scale)である.応答周波数帯域は直流~200Hz.また,本モジュールの動作時の消費電流は最大2.0mA,待機時は5.0μAである.動作電圧は,アナログ部が2.5~3.3V,ディジタル部が1.8~3.3V.動作温度範囲は-20~70℃。
本マルチチップ・モジュールのサンプル出荷は2004年10月から開始する予定.量産出荷の開始時期は2005年4月.
[写真1] ML8950の外観
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