沖電気工業は，3軸のMEMS加速度センサと制御用ICを1パッケージに集積したマルチチップ・モジュール「ML8950」を発売する．本モジュールの外形寸法は5.0mm×5.0mmであり，厚さは1.4mmと薄い．携帯機器やセキュリティ端末などにおける需要を見込んでいる．同社は，MEMSファンドリ・サービスを提供しているが，自社製品を発売するのは今回が初めて．
制御用ICは，10ビットA-Dコンバータを内蔵しており，加速度センサで取得した信号をディジタル値として出力する．そのため，CPUなどと直接接続できる．このほか，信号増幅回路や温度補正回路なども備えている．
加速度センサはピエゾ抵抗型．測定範囲は±3G，耐衝撃性は4,000G，直線性は±1％FS（full scale）である．応答周波数帯域は直流〜200Hz．また，本モジュールの動作時の消費電流は最大2.0mA，待機時は5.0μAである．動作電圧は，アナログ部が2.5〜3.3V，ディジタル部が1.8〜3.3V．動作温度範囲は−20〜70℃。
本マルチチップ・モジュールのサンプル出荷は2004年10月から開始する予定．量産出荷の開始時期は2005年4月．
[写真1] ML8950の外観
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