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Analog Devices,外形寸法7mm×7mm×3mmのBGAに集積したMEMS角速度センサを発売

 米国Analog Devices社は,外形寸法が7mm×7mm×3mmのBGAパッケージに集積した角速度センサ(ジャイロ)「ADXRS150」と「ADXRS300」を発売する.信号処理回路と機械的な微小センサを1チップにまとめた.角速度の測定範囲は,ADXRS150が150度/s,ADXRS300が300度/sである.本角速度センサは,サーフェイス・マイクロマシーニング(Si基板の表面に,積層した薄膜を利用してさまざまな構造体を作る)技術を用いて製造されている.自動車の転覆時のサイド・エアバックの制御やナビゲーション・システム,ロボットなどでの需要を見込んでいる.

 一般に,MEMS技術を用いた角速度センサは,回転する座標系で周期的な速度(振動)をマイクロ構造体に与え,その振動に対して直交方向に発生する周期的な加振力(コリオリ力)を測定する.この加振力は,系の角速度に比例する.本角速度センサでは,レゾネータを用いて15kHzの振動をセンシング部に与える.センシング部の外側2辺にくし歯構造を持つ電極(加速度センサ)があり,ここで加振力によるくし歯間の静電容量の変化を測定している.この加速度センサの分解能は30μgであり,検出可能な変位量は最小0.00016Åである.

 また,角速度センサは二つのセンシング部が左右対称に配置されている.それぞれのセンシング部で逆方向に加振力が発生し,これにより外乱をキャンセルしている.

 2002年10月からサンプル出荷を開始する.同年末までには量産を開始する予定.今回の製品は1軸角速度センサだが,今後は2軸に対応し,測定範囲が75度/s,150度/s,300度/sの角速度センサを製品化していくという.


[図1] ADXRS角速度センサのダイ


[図2] 角速度センサの構造と動作

■価格
30ドル(1,000個購入時の単価)

■連絡先
アナログ・デバイセズ株式会社
TEL: 03-5402-8127
URL: http://www.analog.co.jp/

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