Cypressの子会社，MEMS技術を利用するDWDM通信用ダイナミック・ゲイン・イコライザを発売

　米国Cypress Semiconductor社の子会社であるSilicon Light Machines社は，MEMS（micro electro mechanical systems）技術を利用するDWDM（dense wavelength division multiplexing）通信用ダイナミック・ゲイン・イコライザ「Model2200 DGE」を発売する．DWDMなどの光通信では，長距離伝送の過程で，波長によって光パワーにバラツキが生じる．Model2200は，波長ごとにばらついた光パワーを等化する可変アッテネータ・モジュールである．波長によって光パワーの異なる光に対して，15dBのダイナミック・レンジにわたって等化を行い，光パワーのバラツキ（スペクトラム・パワー・リップル）を±0.1dBの範囲に収める．等化時間は1.0ms以下，消費電力は5W以下．

　Model2200にはGLV（Grating Light Valve）を利用したMEMSデバイスが組み込まれている．GLVとは，光の回折効果を利用して光の向きや光パワーを制御するMEMS技術である．GLVでは，アルミを蒸着した細いシリコン窒化膜のリボン（ブリッジ）がシリコン基板の上にアレイ状に配置されている．電圧が印加されていないとき，このリボンのアレイは平面ミラーとして働き，光を反射する．一方，電圧を印加すると，静電吸引力によって一部のリボン（可動リボン）が基板に引き寄せられ，矩形波状の凸凹を形成する．これが回折格子（Grating）になり，光は回折を起こして，リボンのピッチと波長によって決まる方向へ回折光を出射する．今回のダイナミック・ゲイン・イコライザでは，出力される光パワーを電圧に変えてGLVにフィードバックし，動的制御を行っている．

　同社のGLV技術はすでに投射型ディスプレイ装置に応用されており，ソニーが採用している．このほか，GLVは光変調器や光スイッチなどにも応用できるという．

　現在，Model2200 DGEのサンプル品を出荷している．2002年前半中に量産出荷を開始する予定．

[図1] GLV（Grating Light Valve）の原理

[写真1] Model2200 DGEの外観（左が内部基板，右が筐体）