愛知製鋼，アイチ・マイクロ・インテリジェント，マクニカの3社，消費電力10mWの磁気センサ・モジュールを共同開発

　愛知製鋼，アイチ・マイクロ・インテリジェント，マクニカは，消費電力10mWのMI（磁気インピーダンス）センサ・モジュール「MI-IC-1DL」,「MI-IC-1DD」,「MI-IC-2DL」を共同開発した．2002年3月からサンプル出荷を開始する．MIセンサは，ホール素子や磁気抵抗素子の約100万倍以上の感度を持つ磁気センサである．生体磁気も測定できる．1992年に名古屋大学の毛利佳年雄教授が発明した．

　今回製品化したMIセンサ・モジュールは，MIセンサと信号処理ICを一つのパッケージに封止したものである．アモルファス・ワイヤを感磁媒体として用いている．アモルファス・ワイヤに高周波の交流電流を流すと，外部磁界により磁気インピーダンスが大きくなる．MIセンサはこの変化を利用している．

　「MI-IC-1DL」はMIセンサを一つ内蔵しており，1軸リニア出力タイプ（アナログ）である．角度センサや電流センサ，金属探知機などに用いられる．「MI-IC-1DD」は，MIセンサを一つ内蔵しており，1軸スイッチ・タイプ（ディジタル）である．回転センサや速度センサなどに用いられる．いずれもパッケージは8ピンのSOP（small outline non-leaded package），外形寸法は3.0mm×4.0mm×0.8mmである．

　「MI-IC-2DL」は，MIセンサを二つ内蔵おり，2軸地磁気検出タイプである．2次元位相制御や方位センサなどに用いられる．検出できる方位の分解能は1°．パッケージは16ピンSON，外形寸法は4.6mm×5.3mm×0.8mmである．

　従来のホール素子や磁気抵抗素子のセンサは，小型化には優れているが，検出感度が低いとされている．また，FGセンサは，感度には問題がない（ホール素子や磁気抵抗素子の感度の約1,000倍）が，消費電力が大きい．　

　本MIセンサ・モジュールの量産出荷の開始時期は2002年10月の予定．

[図1] 磁場分類とセンサ・素子

[図2] MIセンサの説明図

[写真1] MI-IC-2DL外観