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富士通研,最大発振周波数185GHzのMOSトランジスタを開発
ニュース 2001年12月5日
富士通研究所は,最大発振周波数185GHzのMOSトランジスタを開発した.同社の従来製品と比べて最大発振周波数が約2倍になるという.これにより,GaAsなどの特殊な製造プロセスを使わなくても,数十GHzオーダの高周波LSIを開発できるもよう.
今回の製品は,SOI(Si on insulator)基板を採用している.通常のシリコン基板と比べて,トランジスタの寄生容量を低減できる.また,DTMOS(dynamic threshold MOS)構造を採用している.一方,ゲート電極の上部にシリサイドを形成した後,アルミをはわせる構造になっている.これにより,シート抵抗は0.02Ω/□(同社の従来製品の1/200)となった.ノイズ比は0.8dBである.
2004年~2005年の製品化を予定している.
[写真1] 今回開発されたMOSトランジスタの断面写真
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