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2004年12月1日〜3日,幕張メッセ(千葉県千葉市)にて,半導体製造装置やテスト装置,半導体材料に関する展示会「SEMICON Japan 2004」が開催された.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS複合気体センサをデモンストレーションのようす.本センサを用いて真空度を検出している.測定範囲は大気圧〜1^−3(1のマイナス3乗)Pa.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS複合気体センサのデモンストレーションのようす.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS複合気体センサ.Si基板上に2個のPN接合ダイオードとマイクロヒータを構成している.二つの点の温度差によって,空気の状態の変化を検出する.この検出には,ダイオードのI-V(電流-電圧)カーブの温度特性を利用しており,順方向電流の値を電圧(0〜5V)に変換して,変化量を出力する.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS複合気体センサ.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS加速度体センサ.センサ部のSiのおもりをMEMS技術で構成.感度は数μg.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアのMEMS加速度体センサの構造.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアMEMSの加速度体センサのデモンストレーションのようす.
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ケミトロニクスのブース. メムス・コアの神経電極.MEMS技術の医療分野への応用を視野に入れている.
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オリンパスのブース. ディジタル・カメラから取り込んだ画像の計測・解析用ソフトウェア「AnalySIS Fine」のデモンストレーションのようす.同社の関連会社であるドイツのSoft Imaging System社が開発した.2005年1月から日本での販売を開始する予定.カメラは,オリンパスの工業用ディジタル・カメラ「DP12(334万画素)」,「DP70(1250万画素)」のほかCAMEDIAに対応.本デモンストレーションはDP70を使用.
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オリンパスのブース. 「AnalySIS Fine」のデモンストレーション.ディジタル・カメラ(DP70)から取り込んだ画像の面積などを測定している.測定項目は直線長,重心,輝度,粒子解析など100種類に及ぶ.本ソフトウェアの対応OSはWindows ME/2000/XP.
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オリンパスのブース. 「AnalySIS Fine」のデモンストレーション.画像の測定・解析のほか,レポート作成ツールを備えている.画像や解析結果,表,グラフなどを用いてテンプレートを作成し,データベースに格納しておける.本ソフトウェアに米国Microsoft社のWordやExcelなどのデータを取り込むことも可能.
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