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SEMICON Japan 2004

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512x384 34K オムロンのブース.
同社のPLC(programmable logic controller)「CJ1H-CPU66H」や画像処理ユニット「F210-C10」,タッチパネル・ディスプレイ「NS12-V1」などを用いて,位置決め制御を行うデモンストレーションを行った.
512x384 33K オムロンのブース.
ガラス基板に位置決め用の印を付けており,カメラでこの画像を取り込んでいる.
512x384 22K オムロンのブース.
ガラス基板上の位置決めの印をカメラで取り込んだようす.標準位置(緑の線の交わる箇所)からずれていることがわかる.
512x384 24K オムロンのブース.
取り込んだ画像を画像処理ユニット「F210-C10」に送ると,位置関係を計算して,補正量を割り出す.この補正データをRS-232-Cを介してPLCに送り,PLCがx,y軸と回転の制御によって標準位置に合わせる.
512x384 27K 理化学工業のブース.
温度コントローラ「FB900」と「FB400」.RS-485を介してこれら複数を通信できる.
512x384 33K 理化学工業のブース.
温度コントローラ「FB900」,「FB400」用の通信変換器.
384x512 26K 芝浦メカトロニクスのブース.
フリップチップ・ボンダ「TFC-2100 US」.接合する際,温度が精度に影響を与える.高温になると熱によってテープが伸びてしまうことがある.本フリップチップ・ボンダは,超音波による接合が可能.低温でボンディングが行える.
512x384 20K 芝浦メカトロニクスのブース.
フリップチップ・ボンダ「TFC-2100 US」.
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