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SEMICON Japan 2004
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ケミトロニクスのブース．
メムス・コアのMEMS複合気体センサ．Si基板上に2個のPN接合ダイオードとマイクロヒータを構成している．二つの点の温度差によって，空気の状態の変化を検出する．この検出には，ダイオードのI-V（電流-電圧）カーブの温度特性を利用しており，順方向電流の値を電圧（0〜5V）に変換して，変化量を出力する．
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