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第14回 マイクロマシン展
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20/21
セイコーインスツルメンツのマイクロ超音波リニア・アクチュエータ．積層圧電振動子によって，縦振動と屈曲振動を同時に発生させる．すると，積層圧電振動子の下部にある突起物がだ円運動を始め，その下に置かれている被駆動体が摩擦運動を始める．
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