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第12回マイクロマシン展

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512x384 18K 松下電器産業のサブミリモータ(参考出展).
偏平タイプ(写真右):厚さは0.8mm.用途はカード式のハード・ディスク装置など.
シリンダ・タイプ(写真左):用途は携帯電話のバイブレーション機能など.
512x384 35K Canonの微細レンズ用干渉計システム.光の干渉技術を使って,非接触でレンズの形状を検査する.検査用ソフトウェアも備える.OSはWindows NT(英語版).
512x384 30K 住友電気工業の金メッキ絶縁線.ハード・ディスク装置やフロッピ・ディスクの薄膜ヘッドなどのリード線として使用.IBMから認証を受けている.
512x384 12K 住友電気工業の部分絶縁金属テープ(写真左)とこの金属テープを貼ったチップ用金属シールドケース(写真右).シールドケースのの内側に貼れるので,ケースを浮かす必要がない.携帯電話のシールドに使用.
512x384 26K オリンパス光学工業の「SEL(面発光レーザ)回折イメージ投影方式エンコーダ」(参考出展).写真の赤いコードの右にある四角い箱がエンコーダのヘッド部分.エンコーダのサイズは,6mm×7mm×1.8mm.分解能は0.1μm.商品化については未定.
512x384 39K 米国Pragmatic Instruments 社のMEMSドライブ・システム.東陽テクニカが代理店.デモは,くし形電極(写真右のモニタ画面の左下と右上)で歯車(同モニタの左上の丸い部分)を回転させている.くし形電極の駆動には,Pragmatic Instruments社の任意波形発生器とMEMSアンプを使っている.画像の取り込みは,台湾のChroma社のビデオマイクロスコープを使用.
384x512 30K 台湾Chroma社のビデオマイクロスコープ.東陽テクニカが代理店.
384x512 34K 菱化システムの3次元非接触表面形状計測システム「Micromap」.分解能ごとに製品が異なる.価格は,分解能100nmの製品は800万円,1nmの製品は980万円,0.1Åでは1500万円である.
512x384 20K 米国Vibrant Technology社の「ME'scope」で,Micromapから取り入れた測定物の表面形状を3次元解析している.測定物の表面に突起(赤くとがっている部分)やごみ(黒い部分)があることがわかる.ME'scopeの代理店は,グラフテックである.
512x384 19K Vibrant Technology社の「ME'scope」で,Micromapから取り入れた測定物の表面の断面プローファイル.
512x384 12K 日本トムソンのミニチュア・リニアウェイ「LWL 2(写真手前)」と「LWLF 4(写真奥)」.リニアウェイの構造は,スライド・ユニットの中を剛球が循環し,トラック・レールの上を直線運動する.LWL 2はトラックレール幅が2mm,断面高さが3.2mm.LWLF 4はトラック・レールが4mm,断面高さが4mm.
512x384 11K 日本トムソン(株)のミニチュア・カムフォロア「CFS 2」.カム機構や直線運動などのフォロア軸受け.スタッド径2mm,外輪外径4.5mm.
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