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第12回マイクロマシン展
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米国Vibrant Technology社の「ME'scope」で,Micromapから取り入れた測定物の表面形状を3次元解析している.測定物の表面に突起(赤くとがっている部分)やごみ(黒い部分)があることがわかる.ME'scopeの代理店は,グラフテックである.
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