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第12回マイクロマシン展
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米国Pragmatic Instruments 社のMEMSドライブ・システム.東陽テクニカが代理店.デモは,くし形電極(写真右のモニタ画面の左下と右上)で歯車(同モニタの左上の丸い部分)を回転させている.くし形電極の駆動には,Pragmatic Instruments社の任意波形発生器とMEMSアンプを使っている.画像の取り込みは,台湾のChroma社のビデオマイクロスコープを使用.
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