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第16回 マイクロマシン展
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8/10
マイクロマシンセンターのブース．
MEMS用設計・開発支援システム「MemsONE」のデモンストレーションのようす．国産のMEMS設計ツールの開発を目ざし，2004年～2006年（平成16年～18年）のNEDO委託事業として実施している．
本システムは，材料やプロセス物性のデータベースや機構解析シミュレータ，プロセス解析ツール，フレームワーク・ソフトウェアなどからなる．
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