組み込みネット第16回マイクロマシン展

富士電機システムズのブース．
　MEMSセンサや放射線センサを展示していた．写真右は，二つのダイアフラムを搭載したMEMS圧力センサ．一方のダイアフラムの厚みを数十μmとして低レンジの圧力の測定に，別のダイアフラムの厚みは百数十μmとして高レンジの圧力の測定に用いることで，測定範囲を広くした．
　現在は試作段階だが，今後は信号処理用ASICと本圧力センサを一つのパッケージに封止し，2007年ごろの製品化を目ざしている．