ｵﾑﾛﾝ,MEMSｻｰﾓﾊﾟｲﾙ素子で赤外線を検出する非接触温度ｾﾝｻを発売
ｵﾑﾛﾝは,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ﾃﾞﾊﾞｲｽによって赤外線を検出する非接触温度ｾﾝｻ･ﾓｼﾞｭｰﾙ｢形D6T｣を発売する．温度検出範囲は5℃〜50℃,温度出力誤差は±1.5℃,温度分解能は0.14℃．家屋やﾋﾞﾙ,工場などの温度監視に利用できる．焦電素子を使った人感ｾﾝｻと異なり,本ｾﾝｻ･ﾓｼﾞｭｰﾙは静止した人物も検出可能．
対象物からの放射ｴﾈﾙｷﾞｰを,MEMS技術で製作したｻｰﾓﾊﾟｲﾙ素子(熱電対列)で受けて,温度を計測する．2種類の金属接点間の温度差に応じた熱起電力が発生するｾﾞｰﾍﾞｯｸ効果を利用する．n型ﾎﾟﾘｼﾘｺﾝ,p型ﾎﾟﾘｼﾘｺﾝ,金属(Al)で熱電対を構成し,これを直列につないでｻｰﾓﾊﾟｲﾙ素子とした．熱絶縁性の高い誘電体薄膜上に温接点を,熱伝導性の高いｼﾘｺﾝ上に冷接点を形成することで,高速に応答し,ｴﾈﾙｷﾞｰ変換効率の高い温度ｾﾝｻを実現できたという．
MEMSｻｰﾓﾊﾟｲﾙ素子の構成は,4×4素子ﾀｲﾌﾟと1×8素子ﾀｲﾌﾟの2種類を用意する．これらの素子とｾﾝｻの周辺回路を集積したASICを一つのﾊﾟｯｹｰｼﾞに封止した．電源電圧は4.5V〜5.5V．4×4素子ﾀｲﾌﾟのMEMSｻｰﾓﾊﾟｲﾙ素子を搭載したﾓｼﾞｭｰﾙの外形寸法は18mm×14mm×8.8mm,1×8素子ﾀｲﾌﾟを搭載したﾓｼﾞｭｰﾙは18mm×14mm×10.7mm．
2012年6月30日に出荷を開始する．なお,同社は2012年7月11日〜13日に東京ﾋﾞｯｸﾞｻｲﾄ(東京都江東区)で開催される｢第23回ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ/MEMS展｣にて,本ﾓｼﾞｭｰﾙを展示する予定．
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ｵﾑﾛﾝ株式会社
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