富士通,最大3軸の変位に対応したMEMSｾﾝｻ用ｾﾝｽ･ｱﾝﾌﾟICを発売
富士通は,MEMSｾﾝｻが出力する微小電圧を検出し,増幅するためのｾﾝｽ･ｱﾝﾌﾟIC｢MB42M101｣を発売した．本ICは,三つのｾﾝｽ･ｱﾝﾌﾟを内蔵しており,最大3軸(x軸,y軸,z軸)に対して独立に補正をかけることができる．本ICは,ﾋﾟｴｿﾞ抵抗型の加速度ｾﾝｻや圧力ｾﾝｻと組み合わせて利用する．例えば,3軸の測定では,本ICに1軸MEMSｾﾝｻを三つ,または1軸MEMSｾﾝｻと2軸MEMSｾﾝｻを一つずつ外付けする．携帯機器や健康器具,ｹﾞｰﾑ機などにおける需要を見込んでいる．富士通ｳﾞｨｴﾙｴｽｱｲと共同で開発した．
本ICは,温度ｾﾝｻと1,280ﾋﾞｯﾄのﾌﾗｯｼｭ･ﾒﾓﾘを内蔵している．ﾌﾗｯｼｭ･ﾒﾓﾘにあらかじめ温度ﾃﾞｰﾀを書き込んでおけば,温度に対する出力感度やｾﾞﾛ点温度変動の補正を自動で行える．また,ｾﾝｻを駆動する(ﾋﾟｴｿﾞ抵抗に流す)電流は35μA〜520μAの間で設定できる．
電源電圧は3.0〜5.5V．ｱﾝﾌﾟの利得は240〜2,860倍,周波数帯域は直流〜10kHzである．動作温度範囲は-40℃〜85℃．
本ICのｻﾝﾌﾟﾙ出荷はすでに始まっている．量産出荷は2004年9月から開始する予定．今後は,静電容量型のMEMSｾﾝｻに対応した製品を開発していくという．
■価格
400円
■連絡先
富士通株式会社
TEL:03-5322-3390
E-mail:edevice@fujitsu.com
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