組み込みﾆｭｰｽ2002.3.15

Cypressの子会社,MEMS技術を利用するDWDM通信用ﾀﾞｲﾅﾐｯｸ･ｹﾞｲﾝ･ｲｺﾗｲｻﾞを発売

　米国Cypress Semiconductor社の子会社であるSilicon Light Machines社は,MEMS(micro electro mechanical systems)技術を利用するDWDM(dense wavelength division multiplexing)通信用ﾀﾞｲﾅﾐｯｸ･ｹﾞｲﾝ･ｲｺﾗｲｻﾞ｢Model2200 DGE｣を発売する．DWDMなどの光通信では,長距離伝送の過程で,波長によって光ﾊﾟﾜｰにﾊﾞﾗﾂｷが生じる．Model2200は,波長ごとにばらついた光ﾊﾟﾜｰを等化する可変ｱｯﾃﾈｰﾀ･ﾓｼﾞｭｰﾙである．波長によって光ﾊﾟﾜｰの異なる光に対して,15dBのﾀﾞｲﾅﾐｯｸ･ﾚﾝｼﾞにわたって等化を行い,光ﾊﾟﾜｰのﾊﾞﾗﾂｷ(ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ･ﾊﾟﾜｰ･ﾘｯﾌﾟﾙ)を±0.1dBの範囲に収める．等化時間は1.0ms以下,消費電力は5W以下．

　Model2200にはGLV(Grating Light Valve)を利用したMEMSﾃﾞﾊﾞｲｽが組み込まれている．GLVとは,光の回折効果を利用して光の向きや光ﾊﾟﾜｰを制御するMEMS技術である．GLVでは,ｱﾙﾐを蒸着した細いｼﾘｺﾝ窒化膜のﾘﾎﾞﾝ(ﾌﾞﾘｯｼﾞ)がｼﾘｺﾝ基板の上にｱﾚｲ状に配置されている．電圧が印加されていないとき,このﾘﾎﾞﾝのｱﾚｲは平面ﾐﾗｰとして働き,光を反射する．一方,電圧を印加すると,静電吸引力によって一部のﾘﾎﾞﾝ(可動ﾘﾎﾞﾝ)が基板に引き寄せられ,矩形波状の凸凹を形成する．これが回折格子(Grating)になり,光は回折を起こして,ﾘﾎﾞﾝのﾋﾟｯﾁと波長によって決まる方向へ回折光を出射する．今回のﾀﾞｲﾅﾐｯｸ･ｹﾞｲﾝ･ｲｺﾗｲｻﾞでは,出力される光ﾊﾟﾜｰを電圧に変えてGLVにﾌｨｰﾄﾞﾊﾞｯｸし,動的制御を行っている．

　同社のGLV技術はすでに投射型ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ装置に応用されており,ｿﾆｰが採用している．このほか,GLVは光変調器や光ｽｲｯﾁなどにも応用できるという．

　現在,Model2200 DGEのｻﾝﾌﾟﾙ品を出荷している．2002年前半中に量産出荷を開始する予定．

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