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マイクロ波帯のMEMS応用技術の動向
RF MEMSは課題を克服し,無線機器の性能向上に貢献できるか?

参考文献

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みずの・こうじ
東北大学 電気通信研究所

◆筆者プロフィール◆
水野皓司.1968年,東北大学工学部 大学院博士課程了.同大学助手,助教授を経て,1984年に教授(電気通 信研究所)となる.1990〜1998年に理化学研究所(フォトダイナミクス研究センター)のチーム・リーダを兼務.この間,ミリ波,サブミリ波帯デバイス・計測装置の研究開発に従事する.1984年に第17回科学計測振興会賞を,1998年にK.J. Button賞を,2000年に電気学会部門大会企画賞を受賞する.趣味はヨット・セーリングとフルート演奏.


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